单晶炉是软轴提拉型晶体生长设备，在低于常压的����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ����������� �������Ƴ�������惰性气体环境中，以石墨电阻加热器加热，将����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������填充在石英坩埚内的多晶硅材料熔化，用直����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������拉法生长无位错的高质量单晶设����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������备。目前可生产 CZ16����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������0 型及以上单晶炉设备。